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目录:深圳市达瑞博电子有限公司>>量测>>电子束量测>> CG 4100临界尺寸扫描电子显微镜

临界尺寸扫描电子显微镜
  • 临界尺寸扫描电子显微镜
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 品牌 Hitachi/日立
  • 型号 CG 4100
  • 厂商性质 经销商
  • 所在地 深圳市
属性

产地类别:进口 应用领域:电子/电池,综合

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更新时间:2025-04-29 09:18:57浏览次数:798评价

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产地类别 进口 应用领域 电子/电池,综合
HITACHI CG 4100是一种扫描电子显微镜(SEM),设计用于提供非常小的物体和粒子的详细3维图像。它具有模块化设计,允许使用一系列不同的检测器和级来定制配置。基本构型包括一个带电子枪的真空室和一个用于试样安装的舞台。

分辨率:1.8 nm
产量:42片/小时
MAM 时间:2.8 秒
级着陆精度:±1μm

HITACHI CG 4100临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)

分辨率:1.8 nm产量:42片/小时MAM 时间:2.8 秒级着陆精度:±1μm

Hitachi CG 4100 是一款关键尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM),专为半导体和纳米技术领域的高性能应用而设计。主要规格和功能包括:

  1. 分辨率:CG 4100 提供高分辨率成像功能,分辨率低至 1.8 纳米,这对于详细分析材料和半导体器件中的小特征至关重要。

  2. 吞吐量:该系统每小时可处理多达 42 片晶圆,适用于大批量制造环境。

  3. 载物台精度:载物台着陆精度为 ±1 微米,确保精确定位以实现一致的测量。

  4. 高压操作:显微镜在高达150kV的加速电压下工作,为更好的成像和分析提供高能量。

  5. 成像和分析:CG 4100 配备先进的电子光学元件和强大的电子枪,可提供出色的图像清晰度和清晰度。它还包括自动对焦和导航系统,以提高易用性和效率。

  6. 软件和自动化:CG 4100 具有智能自动化功能,包括自动机械臂、图像分析软件和可定制的配置,以满足各种用户需求。这样可以快速准确地收集和分析数据。

  7. 模块化设计:模块化设计允许使用不同的探测器和载物台进行可定制的配置,以适应特定应用,例如吸收和发射光谱、高分辨率成像和能量色散光谱。

这些特性使 Hitachi CG 4100 成为各种科学和工业应用中详细 3D 成像和分析的理想选择


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