Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）.它专为超精细半导体器件而设计.

以下是一些主要规格和功能：

• 分辨率：1.8nm（加速电压：800V）

• 重复性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立标准晶圆）

• 晶圆尺寸：300mm（200mm）

• 产量：36 片晶圆/小时（晶圆上有 20 个测量点）

• 加速电压：300 - 1,600 V （10V步进） （200 - 2,000 V：可选）

• 它提供高分辨率、高精度的计量可重复性

• 它包括高精度平均 CD （ACD） 计量功能

• 它支持行业标准的线边缘粗糙度 （LER） 计量功能

• 它具有改进的可操作性和自动维护功能

该器件被广泛用作半导体工艺中CD测量的主要工具.它能够实现亚纳米级的测量精度以及高分辨率、高精度的计量可重复性和高通量.它旨在应对半导体行业设计规则不断缩小时对过程控制的严格要求.它是一款功能强大的工具，可提供宽加速电压范围、高灵敏度数字成像、电荷保护校正、能量滤波器功能、精确运动控制以及自动样品交换和聚焦.