MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命

弗莱贝格的MDPpro（MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命）系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等，其非接触式检测和无损成像（μPCD /MDP（QSS））的设计*符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说，MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。

►公司简介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德国弗莱贝格工业大学。初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具，用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
 --2012年整合了Magnettech公司，该公司拥有25年ESR顺磁产品经验；2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
 --Freiberg Instruments是一家发展迅速，充满活力，专业又具有创新的的分析仪器公司，产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。 

►产品介绍

 --弗莱贝格的MDPpro（MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命）系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等，其非接触式检测和无损成像（μPCD /MDP(QSS)）的设计*符合SEMI标准PV9-1110。

 --这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化以及常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量等领域被广泛应用。可以说，MDPpro（MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命）算得上是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。

 

►特性&优势:

 --无接触和无破坏的半导体检测；

 --特殊“underneath the surface”寿命测量技术；

 --对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度；

 --自动设置硅錠切割标准；

 --空间分辨p/n电导型变换检测；

 --多项数据同时自动检测扫描，5幅测量图形同时绘制；

 --坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装，仅需要电源。

 

►应用实例

-1.日常寿命测量，质量控制和检验

 --产量：>240块/天或>720片/天
 --测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭，<4分钟
 --良品率提升：1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
 --质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅
 --沾污检测：起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
 --可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高可靠性，运行时间> 99%
 --可重复性:> 99.5%
 --电阻率：可做面扫描，不需经常校准

 

-2. 精密材料研发

 --a.铁浓度测定
 --b.陷阱浓度测定
 --c.硼氧测定
 --d.依赖于注入的测量等