MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测

MDPinline（MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测）是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器，在不到一秒的时间内，就可以“动态"测量出晶圆图。该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构，有效提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。

►公司简介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德国弗莱贝格工业大学。初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具，用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
 --2012年整合了Magnettech公司，该公司拥有25年ESR顺磁产品经验；2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
 --Freiberg Instruments是一家发展迅速，充满活力，专业又具有创新的的分析仪器公司，产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。

 

►产品介绍 

MDPinline（MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测）是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器，在不到一秒的时间内，就可以“动态”测量出晶圆图。该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构，有效提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。 

►产品优势

 --MDPinline（MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测）可以在不到一秒的时间内，可对一个晶圆片进行全电特性测试。测量参数：载流子寿命(拓扑图)、电阻率(双线扫描)。

 --在非常短的时间内获得数以千计的晶圆片的统计信息可有效地帮助晶圆厂控制过程和生产。

 --适用于测量晶圆片的材料质量，以及识别晶圆片层面的结晶问题，例如在光伏行业。

 --适用于扩散过程的完整性控制、钝化效率和均匀性控制。

 

 

 

 

Multicrystalline silicon wafers

 

►技术参数