数字气体质量流量控制器

CS100

型号

CS100A

CS100D

阀类型

常闭

无

常闭

无

流量规格(N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10＜流量规格≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30＜流量规格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa；10＜流量规格≤30SLM

＜0.02 MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃；   调节时: ≤±0.1% F.S/℃

耐压

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He）

密封材料

氟橡胶

金属密封

大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

（5～45）℃

输入信号

模拟:
(0～5)VDC

数字: RS485

无

无

模拟:
(0～5)VDC

数字: RS485

无

无

输出信号

模拟:
(0～5)VDC

数字: RS485

模拟:          (0～5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0～5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0～5)VDC

数字: RS485

电源接头形式

D型9针
阳接头；

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头；

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头；

D型15针
阳接头

D型9针阳接头；

O型3针阳接头

D型15针阳接头

D型9针
阳接头；

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头；

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头；

D型15针
阳接头

D型9针阳接头；

O型3针阳接头

D型15针阳接头

供电电源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自动清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

标准接头形式

双卡套 φ6； 双卡套φ3；双卡套1/4´´；双卡套1/8´´；

VCR1/4´´阳接头；

φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头

VCR1/4″阳接头

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg