数字式气体质量流量控制器

产品型号

CS310C

产品类型

高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

流量量程

1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤0.8sec

工作温度范围

(0~50)°C

耐压

3.5MPa

密封材料

金属密封 Metal

输入输出信号

RS-485,DeviceNet

电源

±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型

常开或常闭

温度系数

Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃

零点飘移指标

＜0.6%F.S. per year without autozero

电气连接

D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围

(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率

1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化学成分

Cr/Fe ratio ＞2.0,CrO thickness ＞20 Angstroms

表面粗糙度

5µinch

抗电磁干扰

CE

重量

1Kg