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Akribis-air智能研磨抛光机,具有高度自动化的独立系统,提供了工艺创新,在短时间内可实现zui高水平的处理。
Akribis-Air智能研磨抛光机功能:
单工作站系统配有400mm的盘,速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统,在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。
Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:
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