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SI 500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备,利用ICP高密度等离子源来沉积电介质薄膜。可在极低温度下( 100ºC)沉积高质量SiO2, S...
PICOSUN 原子层沉积系统ALD R-200 Pro;PICOSUN R-200 Advanced ALD系统适用于数十种应用的研发,例如IC组件,MEMS...
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离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子...
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