目录:高德英特（北京）科技有限公司>>质谱仪>>二次离子质谱仪>> PHI ADEPT 1010动态二次离子质谱仪
| 价格区间 | 面议 | 仪器种类 | 飞行时间 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,综合 |
优势
ULVAC-PHI 最新设计的四极杆-二次离子质谱仪ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基础上，改善了离子光学系统，是在一次离子能量低至250eV时，仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统（D-SIMS）。
特点
大束流低能量离子枪设计，极大的提高了深度分辨率
高性能离子光学系统，改善了二次离子传输效率，在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度
高精度全自动5轴样品操控台
不同方向进入检测器的二次离子，均可被高灵敏地收集检测
应用实例分析
采用一次离子源Cs在加速5kV束流为100nA的条件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素。可以看到H检测限值7.1X1016 atm/cm3，O检测限值4.4X1015 atm/cm3，C检测限值2.0X1015 atm/cm3。
8
化工仪器网