10.5 升的diener plasma低压等离子清洗机为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层。

特点：

·紧凑型设计，节省空间
·输出功率最大 300W，连续可调
·7寸触摸屏人机交互界面（PCCE控制）
·存储5套工艺参数（PCCE控制）
·操作简单

 用途

·用于不同材料表面的处理
·适合于研究所、高校、研发中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面处理

 diener plasma低压等离子清洗机产品参数：

 选购品：单体导入模块、发泡瓶、石英腔体、石英托盘、铰链门、数字/模拟计时器（手动控制）、皮拉尼真空计、法拉第盒、H2泄漏检测（PC控制）、温度传感器（PC控制）、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀