目录:上海尔迪仪器科技有限公司>>Diener>>低压等离子表面处理设备>> Femto RIEdiener真空等离子清洗机
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工 |
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外形尺寸 | W560?x?D600?x?H860mm | 电源 | AC230?V?/?16?A |
真空泵 | 排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa | 工艺气路 | 单路,双路,三路 |
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1 |
diener真空等离子清洗机/低压等离子系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层
德国Diener electronic成立于1993年,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。
diener真空等离子清洗机用途:
·适用6寸以下样品的处理
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用
特点:
表面清洗活化
表面蚀刻
可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
参数: