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采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置的高温测试探针治具,满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求,通过先进的测控软件可以显示出温度与电阻,电阻率,电导率数据的变化曲线,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
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