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北京瑞科中仪科技有限公司
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目录:北京瑞科中仪科技有限公司>>其他设备>>退火炉>> 退火炉
应用领域:环保,化工,电子
更新时间:2024-01-18 10:49:22浏览次数:343评价
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多功能原位高温热台
退火炉
产品分类品牌分类
等离子干蚀刻
产品简介
详细介绍
退火炉是用于制造半导体元件的制程方法。该制程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理旨在达到不同的效果。可以加热晶片以激活掺杂剂,使沉积的膜至密化,并改变生长的膜的状态。暴露在高温下可以修复损坏。该过程称为退火。 炉子退火可以集成到其他炉子处理步驟中,例如氧化,也可以单独处理。
退火炉技术参数
半導體。
MEMs。
納米技術。
LED。
太陽能電池產業。
平板顯示器。
通過使用加圈和水冷不銹鋼法蘭來控製石英管的溫度。
爐管配置:水平,結合傳送機構。
帶有視窗的手動爐門。
石英管尺寸:最大12英寸。
單載片或多載片(最多50個晶圓)。
控制精度:<±1°C。
製程氣體:N2、Ar、H2。
最高溫度:最高1700°C。
抽氣閥件前端會有冷凍捕捉器。
易於清潔和維護。
和自動傳送組成在一起。
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