研究级激光共焦显微镜

 LEXT4000研究级激光共焦显微镜总评:
    LEXT 4000备有常规显微镜的功能，并有BF，DF，DIC等多种观察方法。它以405nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描，获得水平分辨率高达0.12μm的表面显微图像,通过显微镜高精度步进马达驱动和5nm光栅控制的聚焦装置，运用共聚焦技术（Confocal），逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图象叠加,获得样品表面的三维真实形态（近似SEM扫描电镜的Morphologic图像,将采样数据运算后,可获得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚，几何参数等测量数据。可作为高精度测量设备，符合计量追溯体系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。                      

LEXT4000研究级激光共焦显微镜精益求精的测量性能

1> 轻松检测尖锐角

        采用了有着高N.A. 的物镜，和能zui大限度发挥405 nm 激光性能的光学系统，LEXT OLS4000可以精确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

2> 克服反射率的差异

        LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统，那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品，也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。 

3> 稳定的测量环境

        为了排除来自外部的影响，稳定测量，LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡皮组成的“混合减震机构”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业，不需要的防震平台。

4> 更加真实的再现微小凸凹

        微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜，将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差，生成明暗对比，从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察，即使是低倍率的动态观察，也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。

4> 对应大范围观察

        在高倍率影像观察中，视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了缝合功能，zui多可拼接500 幅影像，从而能得到高分辨率和大视场范围的影像数据。不仅如此，LEXT OLS4000 还能对该大视场影像进行3D 显示和3D 计测。

的粗糙度分析能力

1> 将激光纳入表面粗糙度测量仪的标准中

        作为表面粗糙度测量仪的新标准，奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样，对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说，能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外，还搭载了粗糙度模式，可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离zui长为100 mm 的粗糙度。

OLS4000与接触式表面粗糙度测量仪的测量截面曲线比较（截面全长1.6 mm）

参数一览

       LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览

       LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览（符合ISO25178 草案）

2> 微细粗糙度 

       接触式表面粗糙度测量仪

       激光显微镜

3> 非接触

       柔软的样品

       带有粘性的样品

4> 微细处测量

        使用接触式表面粗糙度测量仪，其触针无法进入微小领域，所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位，能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。

LEXT4000规格