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产品简介
详细介绍
工业共聚焦显微镜采用了有着高N.A. 的物镜和光学系统（能zui大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
作为表面粗糙度测量的新标准，奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样，对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说，能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外，还搭载了粗糙度模式，可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离zui长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数，因此具有相互兼容的操作性和测量结果。
| 截面曲线 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
|---|---|
| 粗糙度曲线 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波动曲线 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 负荷曲线 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本图形 | R, Rx, AR, W, , AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）参数。通过评估平面区域，可以进行高可靠性的分析。
| 振幅参数 | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能参数 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 体积参数 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 横向参数 | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 与表面粗糙度测量仪的结果相兼容。 
微细粗糙度
使用接触式表面粗糙度测量仪，无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而OLS4100 有着微小的激光光斑直径，所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。
非接触式测量
使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时，样品容易受到探针损伤而变形。另外，带有粘性的样品会粘在探针上，无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜OLS4100，不会影响样品的表面状态，可以准确的测量样品
的表面粗糙度。
柔软的样品
带有粘性的样品
高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度测量结果（左）
| 工业共聚焦显微镜主机 | |||
| LSM 部分 | 光源、检出系统 | 光源：405 nm 半导体激光 检出系统：光电倍增管 | |
| 总倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 变焦 | 光学变焦1x ～ 8x | ||
| 测量 | 平面测量 | 重复性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正确性 | 测量值的±2%以内 | ||
| 高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 内置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移动分辨率 | 10 nm | ||
| 显示分辨率 | 1 nm | ||
| 重复性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正确性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm） | ||
| 彩色观察部分 | 光源、检查系统 | 光源：白色LED， 检查系统：1/1.8 英寸200 万像素单片CCD | |
| 变焦 | 数码变焦1x ～ 8x | ||
| 物镜转换器 | 6 孔电动物镜转换器 | ||
| 微分干涉单元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 内置偏振光片单元 | ||
| 物镜 | 明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 平面复消色差透镜20x、50x、100x | ||
| Z 对焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 载物台 | 100×100 mm（电动载物台）， 选件: 300×300 mm（电动载物台） | ||
为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
| 物镜 | ||||
| 型号 | 倍率 | 视场 | 工作距离（WD） | 数值孔径（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |