美国mks G系列GE50A 质量流量控制器

美国mks  G系列GE50A 质量流量控制器

G 系列 GE50A 数控质量流量控制器可配备 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

流速从 5 到 50，000 sccm

密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或卡雷斯

多种数字（以太网、设备网™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O

标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1%

小于 750 毫秒的建立时间

G系列GE50A 质量流量控制器规格

类型                        质量流量控制器

满量程流量范围        5 - 50，000 SCCM

控制范围                 满量程的 2% 至 100%

密封材料                 氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或卡雷斯

模拟连接器              9 针或 15 针 D 超小型

最大入口压力           150 磅/平方英寸

正常工作压差           10 至 5000 sccm;10 至 40 个 PSID，10000 至 20000 个 SCCM;15 至 40 个 PSID，30000 至 50000 SCCM;25 至 40 psid

耐压                        1000 磅/平方英寸

爆破压力                  1500 磅/平方英寸

典型精度                  20% 至 100% 满量程时为设定点的 ±1%，2% 至 20% 满量程时为满量程的 ±0.2%

重复性                     ±0.3%的读数

分辨率                     满量程的 0.1%

零温度系数              <满量程的0.05%/°C

量程温度系数            读数的<0.08%/°C

入口压力系数           <读数/平方英寸的 0.02%

典型建立时间<750 毫秒，典型值高于 5% 满量程

预热时间                  30 分钟

工作温度                  10°C 至 50°C

储存湿度                   0 至 95% 相对湿度，无冷凝

储存温度                   -20° 至 80°C

外部泄漏完整性<1 x 10-09（SCC/秒 He）

通过关闭阀门实现泄漏完整性          高达 10K 的阀门<40 psig 时满量程的 0.1%，大气压 40 psig 时高达 20K - 50K 阀 <FS 的 1.0%

接液材料                   316L S.S. VAR， 316 S.S.， Elgiloy®， 镍

表面光洁度                16μ 英寸平均 Ra

重量                          3 磅（1.4 千克）

合规                           中欧

G系列GE50A 质量流量控制器型号：

GE50A013101RMV020     GE50A013102RMV020     GE50A013102SMV020     GE50A013103RMV020     GE50A013103SMV020

GE50A013201RMV020     GE50A013202RMV020     GE50A013203RMV020     GE50A013204RMV020     GE50A013204SMV020

GE50A013501RMV020     GE50A013502RMV020     GE50A013503RMV020

美国mks  G系列GE50A 质量流量控制器

多种数字和模拟接口选择

GE50A 数控 MFC 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GE50A 的模拟和数字 I/O 可以轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有GE50A都包括Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

标准 3 英寸基底面

GE50A 利用 5 sccm 至 50 slm 流量范围内 MFC 常用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有的气体管路配置即可使用。

所有金属润湿表面

GE50A的设计最大限度地减少了弹性体的使用。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。否则，所有润湿表面都是金属。GE50A 标配氟橡胶密封件以及丁腈橡胶、氯丁®橡胶®、EPMD 或 Kalrez® 选项，允许该设备与需要这些替代品之一的气体一起使用

设定值精度百分比

随附的数字校准可在满量程流量范围的 20% 至 100% 的 N2 校准气体下产生 1% 的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，而不是相对于满量程规定的精度。对于 2% 至 20% 满量程的质量流量，精度为满量程的 ±0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存要求。您还可以监视 MFC 功能并原位收集性能数据。