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| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 |
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GM50A 和 GM51A 数控质量流量控制器提供模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。
产品简介
详细介绍
美国mks GM50A和GM51A数控质量流量控制器
GM50A 和 GM51A 数控质量流量控制器提供模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。
流速从 5 到 50，000 sccm
金属密封，带特氟龙阀塞
多种数字（以太网、设备网™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O
标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%
小于 750 毫秒的建立时间
美国mks GM50A和GM51A数控质量流量控制器
规格
类型 质量流量控制器
满量程流量范围 5 - 50000 sccm（相当于N2）
控制范围 满量程的2-100%
最大入口压力 150 磅/平方英寸
正常工作压差 10 至 5000 sccm;10 至 40 个 PSID，10000 至 20000 个 SCCM;15 至 40 个 PSID，30000 至 50000 SCCM;25 至 40 psid
耐压 1000 磅/平方英寸
爆破压力 1500 磅/平方英寸
典型精度 20% 至 100% 满量程时为设定点的 ±1%，±2% 至 20% 满量程时为满量程的 0.2%
重复性 ± 0.3% 读数
分辨率 满量程的 0.1%
零温度系数 <满量程的0.05%/°C
量程温度系数 读数的<0.08%/°C
入口压力系数 <读数/平方英寸的 0.02%
典型建立时间<750 毫秒，典型值高于 5% 满量程
预热时间 30 分钟
工作温度 10°C 至 50°C
储存湿度 0 至 95% 相对湿度，无冷凝
储存温度 -20° 至 80°C
外部泄漏完整性<1 x 10-10（SCC/秒 He）
通过关闭阀门实现泄漏完整性<1.0% 满量程，40 psig 入口大气
接液材料 316L S.S. VAR， 316 S.S.， Elgiloy®， 镍， KM45
重量 3 磅（1.4 千克）
合规 行政长官
GM50A和GM51A数控质量流量控制器型号：
GM50A013101RMM020 GM50A013101SMM020 GM50A013102RMM020 GM50A013103RMM020
GM50A013103SMM020 GM50A013201RMM020 GM50A013202RMM020 GM50A013203RMM020
GM50A013204RMM020 GM50A013204SMM020 GM50A013501RMM020 GM50A013502RMM020
GM50A013503RMM020
多种数字和模拟接口选择
GM50A 数控 MFC 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GM50A 的模拟和数字 I/O 可轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有GM50A都包括Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
标准 3 英寸基底面
GM50A 利用 5 sccm 至 50 slm 流速范围内 MFC 常用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有的气体管路配置即可使用。
金属密封
GM50A 金属密封 MFC 具有 10 μ 英寸的电解抛光 316L 表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。
设定值精度百分比
随附的数字校准可在满量程流量范围的 20% 至 100% 的 N2 校准气体下产生 1% 的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，而不是相对于满量程规定的精度。对于 2% 至 20% 满量程的质量流量，精度为满量程的 ±0.2%。
嵌入式用户界面
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存要求。您还可以监视 MFC 功能并原位收集性能数据。