美国mks传统质量流量控制器

美国mks传统质量流量控制器

1179C 是一款通用质量流量控制器，设计用于测量和控制各种应用中的气体流量。1179 Mass-Flo® 控制器的满量程范围为 10 sccm 至 20 slm，可提供低至 0.2 sccm 的快速、可重复的流量控制。当连接到合适的压力传感器时，它也可以用作压力控制器。

流量范围从 10 sccm 到 20 slm

传感器设计提供出色的零点稳定性

快速预热时间可最大限度地减少代价高昂的生产停机时间

与早期的 MKS MFC 和电源/读出模块兼容

规格

控制范围              满量程的 2% 至 100%

满量程流量范围        10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm（相当于 N2）

配件类型              世伟洛克® 4 VCR®， 世伟洛克 4 VCO®， 1/4“ 世伟洛克®

模拟量 I/O 连接器     9 针或 15 针“D"型

密封材料             丁腈橡胶， 氯丁橡胶®， 卡尔雷斯®

最大入口压力          150 磅/平方英寸

正常工作压差          10 至 40 psid（10 至 5000 sccm）15 至 40 psid（10000 至 30000 sccm）（MFC 出口处有大气压）

典型精度              满量程的 ±1.0%

重复性                满量程的 ±0.2%

分辨率                满量程的 0.1%

零温度系数            <满量程的0.05%/°C

量程温度系数          <读数的0.08%/°C

压力系数              <读数/平方英寸的 0.02%

预热时间              2 分钟

典型建立时间<2 秒

工作温度              0° 至 50°C

电源要求               ±15 VDC（200 mA 启动，100 mA 稳态）

设定点命令信号          0 至 5 VDC，<20K Ω

接液材料               316L 不锈钢， 氟橡胶®， 镍

外部泄漏完整性          < 1 x 10-9

通过关闭阀门实现泄漏完整性<1.0% 满量程，40 psig 入口大气

合规                       行政长官

美国mks传统质量流量控制器型号：

1179C01311CR1BV   1179C01311CS1BV   1179C01312CR1BV   1179C01312CS1BV   1179C01313CR1BV

1179C01313CS1BV   1179C01314CR1BV   1179C01314CS1BV   1179C01321CR1BV   1179C01321CS1BV

1179C01322CR1BV   1179C01322CS1BV   1179C01323CR1BV   1179C01323CS1BV   1179C01324CR1BV

1179C01324CS1BV   1179C01351CR1BV   1179C01351CS1BV   1179C01352CR1BV   1179C01352CS1BV

1179C01353CR1BV   1179C01353CS1BV

形状-配合-功能替换 MFC

1179C 是当今市场上最常见的 MFC 的直接形状配合功能替代品。标准的 3 英寸基底面使 1179C 能够直接插入同一空间，而无需修改现有的气体管路。电连接器是相同的“D"型连接器，具有与行业同类产品相同的引脚、信号和功能，因此无需重新布线电缆或连接器。1179C 与 MKS 或其他制造商的 MFC 电源和显示电子设备兼容。

形状-配合-功能替换 MFC

1179C 是当今市场上最常见的 MFC 的直接形状配合功能替代品。标准的 3 英寸基底面使 1179C 能够直接插入同一空间，而无需修改现有的气体管路。电连接器是相同的“D"型连接器，具有与行业同类产品相同的引脚、信号和功能，因此无需重新布线电缆或连接器。1179C 与 MKS 或其他制造商的 MFC 电源和显示电子设备兼容。