微波等离子体发生器功率范围在10W和250W之间的特殊2.45GHz发生器。
这些PlasMaster指ding的发生器输出所需的微波功率，并测量未被等离子体射流吸收的功率。两者，点火和操作之间的特殊切换，以及锁定等离子体的樶佳能量支持，都受到***保护。除了目前的6个可插入式喷嘴外，这种特殊的发生器还可用于低压室的CC耦合器。
微波等离子体发生器特点
纯半导体技术中的集成测量和控制电子设备，可在十分之一毫秒范围内调整等离子体变量
控制电子设备包括测量等离子体电阻的测量技术
经济高效的技术，免维护，无磨损
紧凑的设计和樶佳的触发
集成保护电路，扩展到短路电阻和温度关闭电路
集成显示屏上显示四个变量：
工作频率
发射的微波功率
等离子体射流反射的微波功率
等离子体射流吸收的微波功率。
除了操作元件和状态LED，发生器还具有用于自动开启和关闭等离子体的触发输入。