晶圆扩片机 UH132 Die Matrix Expanders是Ultron Systems电机驱动晶圆die扩膜扩展器,专业为晶片扩展和die晶粒展示而设计。
晶圆扩片机UH132同级芯片晶粒die继续提供对die分离工艺参数的精确控制，但现在采用了带有数字速度控制的新电机驱动设计，通过在整个驱动行程中产生线性和均匀膨胀，可提供更高的晶片扩展精度。
晶圆扩片机UH132系列的一个新的可编程功能允许节省预热（停留）时间和ram速度，提供全面控制和最大精度，以获得一致、可重复的结果。
晶圆扩片机UH132特征：
-可容纳多达8英寸（200mm）的晶片/膜架（UH132型）和12英寸（300mm）的晶圆/膜架
-电机驱动柱塞，带数字速度控制和2.8“可调冲程（柱塞高度）
-电动圆形切割机组件（UH132-12型标准；UH132型选件）
-带热敏电阻的数字温控加热台
-可调行程限位器，实现一致的膨胀重复性
-精确控制模具分离距离，实现一致的重复性
-通过10圈千分表精确调整高度（一对一比率）
-最多9个程序可调节预热时间（最多99秒）和ram速度（18速设置）
-安全过压传感器和用于柱塞止动的滑动离合器
-急停按钮
-有机玻璃护罩，防静电
-上下夹具总成
-下夹（外夹环）总成和上夹（内夹环）组件可以单独铰接，以允许使用更大的夹环（UH132-12）
-定位销提供了简单而精确的膜架放置
-减少校准时间并提高自动化过程的产量
-几乎消除了运算符变量