目录:孚光精仪(中国)有限公司>>光学测量系列>>晶圆测试仪器>> FPEH-MX60晶圆电阻率测试仪Sheet Resistance
测量范围 | 10MΩ | 测试电压 | 220V |
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产地类别 | 进口 | 精度 | 0.001 |
类型 | 其他 | 应用领域 | 化工,生物产业,能源,电子/电池 |
重量 | 23kg | 1 | 2 |
晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造,晶圆品控,晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge Types | Wafer Diameter | Resistivity Range | Thickness Range |
MX 601 | up to 6" | 5E4 to 5E9 Ohm*cm | 350 - 650µm |
MX 6010 | 2", 3", 4" | 2E5 to 2E9 Ohm*cm | 300 - 600µm |
晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造,晶圆品控,晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造,晶圆品控,晶圆检测等。