纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合SEM和各种电镜样品微操作使用。
纳米操纵系统布局非常方便,可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制。
纳米操纵系统可以与各种高分辨率电镜,SEM匹配使用,采用磁性镜头设计,可与市场上主流扫描电镜联合使用,即使在加速电压低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。
纳米操纵系统的安装非常方便,不需要改造原有的扫描电镜,几分钟即可完成安装。

纳米操纵系统规格参数(单个纳米探针模块规格)

自由度：4个独立的自由度X,Y,Z,R

尺寸：主体20.5mm x 21.7x 12.5mm, 机械臂8.3mm

重量：12g

最大定位分辨率：Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)

Scanning模式下：0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)

运动范围： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（R), 41度（Z)

Scanning模式：440x250x780nm (XYZ)

运动速度：1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)

力/力矩： 推力0.3N (XY), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (XY)， 0.9mNm(6g) (Z)

Tilt 角：最高55度

漂移：<1nm /min

电学探针规格：

电压范围：+/-100V

电流范围：100mA

漏电流：<100fA/V

带宽：最大25MHZ

电阻：约为3.5欧姆

纳米操纵系统各种布局