珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司
基于热重-红外-气质联用的光刻胶样品成分分析
检测样品：光刻胶样品
检测项目：成分分析
方案概述：光刻胶是目前半导体行业重要的功能性材料。光刻胶可以根据其主要单体的类型进行分类，对单体的识别可以快速判定其类型。除单体外，影响其应用性质的成分还包括溶剂、引发剂、光感剂等，通常来说这些成分会随胶乳的应用场景变化而有所调整。珀金埃尔默公司的热重-红外-气质联用三联机，可以针对这类稍复杂样品进行准确的成分识别，从而评估其光化学特性及应用场景，并针对一些逆向相关的工程应用提供数据性的支持。
实验方案
●测试样品：液体光刻胶样品1份
●测试仪器：TGA8000-Frontier-Clarus690/SQ8T，联用模块为TL9000型号。全部仪器及联用模块来自于珀金埃尔默；
●测试条件：
样品称量方式及用量：使用10μL移液枪移取粘稠液体样品，每次测试共移取3次，置于陶瓷增埚中。由于样品粘度较大，实际取样量小于30μL，样品实际质量由热重确定。
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