上海禾工科学仪器有限公司
自动电位滴定仪CT-1Plus测定混酸含量——硝酸氢氟酸
检测样品：蚀刻液
检测项目：硝酸氢氟酸
方案概述：在半导体制造领域，刻蚀技术是实现微电子器件精细加工的关键步骤之一。半导体湿法刻蚀工艺，简称湿法刻蚀，是一种通过化学溶液来去除晶圆表面特定材料层的技术。这种工艺利用化学反应来精确地控制材料的形状和尺寸，以满足半导体器件的制造要求。本文主要介绍通过CT-1Plus自动电位滴定仪来测试硝酸/氢氟酸蚀刻液体系的含量。
关键词：半导体/硅蚀刻/蚀刻液
行业：半导体/蚀刻液
CT-1Plus自动电位滴定仪测定混酸含量——硝酸氢氟酸
摘要
在半导体制造领域，刻蚀技术是实现微电子器件精细加工的关键步骤之一。半导体湿法刻蚀工艺，简称湿法刻蚀，是一种通过化学溶液来去除晶圆表面特定材料层的技术。这种工艺利用化学反应来精确地控制材料的形状和尺寸，以满足半导体器件的制造要求。本文主要介绍通过CT-1Plus自动电位滴定仪来测试硝酸/氢氟酸蚀刻液体系的含量。
仪器配置
●CT-1Plus电位滴定仪
●pH102电极（or锑电极）
●20mL高精度计量管
●100mL滴定杯试剂配置
●滴定剂：氢氧化钠标准溶液
●滴定度：0.5111mol/L
●溶剂
测定方法
●酸碱滴定/电位滴定
●称取适量试样于烧杯中，加50mL溶剂溶解，搅拌均匀，插入电极，选用蚀刻液测试方法，用氢氧化钠标准溶液滴定到终点
仪器参数
● 最小滴定体积：10μL
● 最大滴定体积：100μL
● 搅拌速度：200
● 每滴间隔：1500ms
● 终点模式：微分判定
● 微分设置：200
测试数据
● 环境温度：20℃ ● 环境湿度：46%
● 测试时间：2min
测试结果：经测试，蚀刻液的硝酸浓度约为20.72%，氢氟酸浓度约为5.17%。
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