检测样品：集成电路

检测项目：光酸剂

方案概述：光刻胶中的光酸剂（PhotoacidGenerator,PAG）是关键成分，在紫外曝光后释放酸，驱动光刻胶的化学反应。英迈仪器的**电雾式检测器（CAD）**能够胜任对光酸剂的检测，特别是在监控PAG浓度及其稳定性方面，对保障半导体制程至关重要。