冠乾科技（上海）有限公司
薄膜材料的纳米力学测试解决方案
检测样品：硅基上超薄薄膜检测项目：弹性模量
方案概述：布鲁克TI系列纳米材料机械性能，压痕，划痕，摩擦磨损具有精度很高，结合原位AFM功能，可获得准确数据，排除环境因素，底材因素。
通过研发的 xProbe超低噪音传感探头，可以获得超薄涂层<10nm薄膜的机械性能。避免底材的受到机械力产生的形变数据影响。
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