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DE200 PLD Deposition System 脉冲激光真空镀膜系统PLD镀膜设备

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德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备,以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料、阀门、真空计和流量计、真空密封穿导件等各种真空部件。十几年来,凭着的品质,*的技术和周到的技术服务,德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持!


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 Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统

                  E-Beam 
电子束蒸发薄膜沉积系统 

                  Thermal 
热阻蒸发薄膜沉积系统

                  PLD 
脉冲激光镀膜系统 

                  Sputter Sources 
磁控溅射阴极

                  DC/RF Power Supply 
直流/射频电源

                  E-Beam Sources 
电子束蒸发源 

                  Thermal EVP Sources 
热蒸发源

                  Deposition Materials 
溅射靶材和蒸发镀膜材料

                  Sample Manipulator 
样品台 

                  Feedthroughs 
电子穿导器件

                  Vacuum Valves 
真空阀门 

                  Vacuum Components 
真空配件 



Sputter 薄膜沉积系统

E-Beam 蒸发薄膜沉积系统

Thermal 蒸发薄膜沉积系统

PLD 镀膜系统

OLED 薄膜沉积系统

ALD 薄膜沉积系统

Sputter Sources 磁控溅射阴极

DC/RF Power Supply 直流/射频电源

E-Beam Sources 电子束蒸发源

Thermal EVP Sources 热蒸发源

Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料

Sample Manipulator 样品台

Feedthroughs 电子穿导器件

Vacuum Valves 真空阀门

Vacuum Components 真空配件

DE200 PLD Deposition System

DE200脉冲激光薄膜沉积真空镀膜系统PLD

 

l         PLD UHV chamber

l         超高真空脉冲激光沉积腔室

l         STM UHV chamber

l         超高真空STM腔室

l         UHV Sample manipulator

l         超高真空样品操纵台

l         Target stage manipulator

l         多靶转台

l        Load Lock chamber

l        预真空进样室

 

:楚

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德仪科技有限公司

DE TECHNOLOGY LIMITED



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