Sputter 薄膜沉积系统
E-Beam 蒸发薄膜沉积系统
Thermal 蒸发薄膜沉积系统
PLD 镀膜系统
OLED 薄膜沉积系统
ALD 薄膜沉积系统
Sputter Sources 磁控溅射阴极
DC/RF Power Supply 直流/射频电源
E-Beam Sources 电子束蒸发源
Thermal EVP Sources 热蒸发源
Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料
Sample Manipulator 样品台
Feedthroughs 电子穿导器件
Vacuum Valves 真空阀门
Vacuum Components 真空配件
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