ART95LZ系列 直线电机机械台-Z向单轴

ART95LZ系列 直线电机机械台-Z向单轴是纳米级定位精度的垂直运动平台，无齿槽直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。是ART95系列水平运动平台的有效补充，可以与ART95或者ART95XY系列组成不同的多轴配置来满足客户应用。

ART95LZ系列 直线电机机械台-Z向单轴虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，速度可达200mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART95LZ系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，平面度/直线度可达±2μm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及光学领域光路对准等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

ART95LZ系列平台最小步进和在位稳定性测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）

备注：

（1）适配-ASH反馈，线性放大器；

（2）空载，需配置相应功率的放大器；

（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。

（5）其他行程可定制。