SMH165LM系列 直线电机机械台

SMH165LM系列 直线电机机械台采用直线电机驱动，直驱电机速度快、动态性能好、摩擦力小，易于实现精密位置控制，非常适合大行程，高速度和高精度应用。

SMH165LM系列 直线电机机械台使用高分辨率光栅，电子分辨率可达1nm，通过校准可使平台达到亚微米级重复性和定位精度。而低摩擦侧密封保护其免受灰尘或颗粒污染，保证其长时间正常运行，延长维护周期。 SMH165LM系列为客户提供线缆管理选项，低摩擦侧封使日常维护更简易。

SMH165LM系列直线运动平台是精密机械中的关键部件之一，它主要应用于OLED切割、PCB钻孔、数控加工、生物技术、IC封装设备、表面形貌测量等领域。为客户提供一个兼具精密定位，高速度和大负载的精密运动平台。

SMH165LM系列平台最小步进和在位稳定性测试

20nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器测试）

±10nm在位稳定性（实验室环境，配置线性放大器测试）

备注：

(1)适配-AS反馈，以及线性放大器；

(2)空载，需配置相应功率的放大器；

(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

(4)其他行程可定制。