Beneq TFS 200/500 BENEQ原子层沉积系统

上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商，所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海，香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处，快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场，并设立新加坡分公司，辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括：  - 霍尔效应测试仪；  - 快速退火炉；  - 回流焊炉，共晶炉，钎焊炉，真空烧结炉；  - 电子束蒸发镀膜机，热蒸发镀膜机;  - 探针台，低温探针台，微探针台；  - 金刚石划片机； - 球焊机，锲焊机；  - 磁控溅射镀膜机；  - 原子层沉积系统，等离子增强原子层沉积设备；  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler)； - 扫描开尔文探针系统； - 光学膜厚仪； -贴片机-PECVD\CVD；-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印；-等离子清洗机、去胶机；-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机； - 匀胶机； - 热板，烤胶板； -少子寿命、太阳能模拟器；-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机（针尖/电子束光刻机EBL，紫外光刻机，激光直写光刻机），镀膜机（磁控溅射机，电子束蒸发机，化学沉积机，微波等离子沉积机，原子层沉积机  等等…

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