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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>原子层沉积设备>ALD-150LE™ 原子层沉积系统

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ALD-150LE™ 原子层沉积系统

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

价格区间 100万-200万 应用领域 电子/电池,航空航天

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LE™是我们但极其灵活的原子层沉积 (ALD) 系统,专为入门级到中级用户而设计。该ALD150LE™配置为纯热原子层沉积,工艺室设计促进了均匀的母离子分散和输送。加热和温度控制进一步增强了系统性能。总体而言,该ALD150LE™在紧凑的设计中提供了的灵活性和性能,而不会牺牲可维护性。

该ALD150LE™配置为纯热原子层沉积,我们的垂直流设计可实现分离、均匀的前驱体输送,同时降低背景杂质水平,从而提高薄膜质量。为避免不必要的材料在输送通道内积聚和颗粒形成,有两个独立的腔室入口可用于前驱体分离。例如,可以使用单独的入口来分离金属有机前体和共反应物,以防止在输送管线和阀门中沉积。

  • 两个独立的进样口,用于前驱体输送,可防止输送通道中不必要的积聚

  • 开放式装载室经过精心设计,可最大限度地减少由于密封脱气和渗透引起的背景杂质

  • 独立的基板加热器平台和外腔壳体,可实现出色的温度控制和均匀性

  • 304L不锈钢结构

  • 可访问、低维护的设计

ALD150LE™开路负载设计允许在样品引入过程中将基物(直径最大为 150 mm)直接放置在基板加热器台上。在随后的原子层沉积(ALD)处理过程中,集中式母离子输送和泵送建立了一个屏障,将下游腔室密封的杂质挡在反应区之外。弹性体腔密封件在下游的战略定位可使杂质(由于密封件释气和渗透)远离基材表面,从而提高 ALD 薄膜质量。特别是,这是在开放式负载室设计中获得高质量氮化物膜的一个重要特征。




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