高真空磁控溅射薄膜沉积系统--PVD500

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PVD500 高真空磁控溅射薄膜沉积系统沈阳科仪高真空磁控溅射仪

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　　北京慧龙环科环境仪器有限公司(以下简称：慧龙环科)是一家专业的实验室仪器设备、耗材销售服务商。致力于将先进的实验室仪器、生态环保、智慧农业、安全防护、食品安全、材料科学等相关检测分析仪器整合成系统解决方案，为广大客户提供先进的检测方式和完善的售后服务体系。

　　慧龙环科经全体同仁齐心协力、众志成城的努力奋斗以及业界众多厂商、客户的信赖支持下，慧龙环科已在水质检测、气体分析、环境辐射、实验室仪器、生态环保、智慧农业、食品安全、石油化工、工业检测、安全防护、材料科学等领域建立独立、完善、便捷的服务信誉。

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环保监测仪器、食品安全检测仪、水质分析仪、气体检测仪、实验室设备、石油化工检测仪、消防安监设备

高真空磁控溅射薄膜沉积系统--PVD500

真空室结构:方形前开门

真空室尺寸:p500x500x500mm

极限真空度:≤3.0E-5Pa

沉积源:永磁靶4套，2英寸

样品尺寸，温度:p4英寸，1片，最高800°C

占地面积(长x宽x高):约2米x1.7米x2米

电控描述:全自动

工艺:片内膜厚均匀性:≤3%

特色参数:

产品概述：
本沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构，采用行业的软件控制系统。

设备特点：

本设备是一个镀膜平台，可把磁控靶拆下换电子枪成为电子束镀膜系统、或换蒸发源作为热蒸发系统、或换上离子枪作为离子束镀膜系统等。
设备用途：
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研项目