8750MM KOFLOC科赋乐 质量流量计
| 参考价 | ¥ 8120 |
| 订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 高斯摩(成都)国际贸易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科赋乐
- 型号 8750MM
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/5/21 9:42:06
- 访问次数 17
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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
支持大流量范围
(以N2换算从F.S.10SCCM 到F.S.100SLM)
装有显示器，可灵活使用各种功能 瞬时/累计流量显示、报警设定
标配有RS485 通信功能，模拟输入输出0-5VDC
(可变更为4-20mA)
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 型号 | 8700MC/MM | 8750MC/MM |
|---|---|---|
| F.S.流量(N2换算) | 10SCCM～20SLM | 30SLM～100SLM |
| 传感器 | 热式绕线传感器 | |
| 控制范围 | 2-100%(F.S.) | 5-100%(F.S.) |
| 响应性 | 2sec以内(within±2%F.S. | 3sec以内(within±2%F.S.) |
| 精度 | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5%F.S. (25℃) |
| 精度保证温度 | ±0.1%F.S./℃(15～35℃) | ±0.2%F.S./℃(15～35℃) |
| 重现性 | ±0.5%F.S. | |
工作压差范围 | F.S.<5SLM50～300kPa F.S<50SLM 150～300kPa | |
| F.S≥5SLM 100～300kPa | F.S. ≥50SLM 200～300kPa | |
| 入口最大压力 | 500kPa(G)以下 | |
| 耐压 | 1MPa(G) | |
| 外部泄漏率(氦气) | 1×10-8Pa-m³/sec.or less(He) | |
| 使用温度 | 5~45℃ | |
| 允许工作湿度 | 0～90%RH(不凝露) | |
| 接触气体部位的材质 | SUS316,316L,磁性不锈钢(仅MFC),FKM | |
采购中心
化工仪器网