3100 KOFLOC科赋乐 质量流量计
| 参考价 | ¥ 8650 |
| 订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 高斯摩(成都)国际贸易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科赋乐
- 型号 3100
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/5/21 9:35:05
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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。
这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。
配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
F.S.1 SCCM微流量支持（SR选项）
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可选） |
|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
| 响应速度 | 1秒内 |
| 准确性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再现性 | 在±0.2％FS（20°C）内 |
| 耐压 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允许周围温度 | 0~50℃ |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L |
| 密封材料FKM（选件CR或NBR或Kallets） | |
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接头 （体型） | 标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 约800g |
采购中心
化工仪器网