3765 KOFLOC科赋乐 质量流量计
| 参考价 | ¥ 8650 |
| 订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 高斯摩(成都)国际贸易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科赋乐
- 型号 3765
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/5/21 9:36:40
- 访问次数 25
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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列开发的紧凑型低成本质量流量计。
它是作为大学和研究机构研发应用的各种分析仪器和真空设备的标准模型而开发的。
配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应
我们不选择紧凑的身体设置的地方
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可选） | 30SLM~100SLM（可选） |
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 响应速度 | 在2秒内 | 在3秒内 |
| 准确性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 温度系数 | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再现性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐压 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允许周围温度 | 5~45℃ | |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L | |
| 密封材料FKM（选件CR或NBR） | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 接头 （体型） | 标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 标准3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 约800g | 约1000g |
采购中心
化工仪器网