产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气,综合 |
特点与优势
*SMA接头转BNC四探针,手动点针 *可选三同轴接口
mimi型温控探针台,可集成到各种光学设备
可编程控温,涵盖RT~1000℃
适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用
独立的四个探针,可从设备外部移动探针进行点针
可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK
模块化设计,可自由组合
*SMA接头转BNC四探针,手动点针 *可选三同轴接口
温控参数
温度范围 | 30℃~1000℃ |
加热块材质 | 陶瓷 |
传感器/温控方式 | 最大升温速率 S / PID控制(含LVDC降噪电源) |
最大升温速率 | 50℃/min |
最小温控速度 | ±0.1℃/min |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温度稳定性 | ±0.5℃ |
软件功能 | 可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线 |
电学参数
探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 |
点针 | 从外部移动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
探针接口 | 默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱(样品接电引线) |
样品台面电位 | 默认为电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口 |
光学参数
适用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸与更替的窗片 |
最小物镜工作距离 | 8/12 mm (可选) *截面图中WD |
上盖窗片观察 | 窗片范围φ45mm,最大视角±58° *截面图中θ1 |
负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
结构参数
适用样品 | 25 mm*25mm |
样品腔高 | 4/8 mm (可选) |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式,XY粗调20mm |
调节精度 | 10um |
气氛控制 | 真空腔,也可充入保护气体 |
外壳冷却 | 可通循环水,以维持外壳温度在常温附近 |
台体尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg |
配置列表
基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
其他可选型号
TP102V-MPS | 温度范围 -40℃ ~ 180℃,样品区,40mm*40mm |
HCP421V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区Φ26mm |
HCP402V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区 50mm*50mm |
HP1000V-MPS | 温度范围 35℃ ~ 1000℃,样品区 25mm*25mm,真空腔室 |
定制型号 | 按客户需求定制,最大适用300mm晶圆样品 |
