产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气,综合 |
特点与优势
*可做定制或改动
mimi型温控探针台,可集成到各种光学设备
可编程控温,涵盖-190℃~400℃
适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用
独立的四个探针,可从设备外部移动探针进行点针,
模块化设计,可自由组合
可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK
SMA接头转BNC四探针,手动点针
*可做定制或改动
温控参数
温度范围 | -190℃~400℃(负温需配液氮制冷) |
加热块材质 | 银 |
传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源) 30℃/min |
最小温控速度 | ±0.01℃/min |
温度分辨率 | 0.01℃ RTD传感器 |
温度稳定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
软件功能 | 可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线 |
电学参数
探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 |
点针 | 从外部移动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
探针接口 | 默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱(样品接电引线) |
样品台面电位 | 默认为电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口 |
光学参数
适用光路 | 反射光路 | ![]() |
窗片 | 可拆卸与更替的窗片 | |
最小物镜工作距离 | 8/12 mm (可选) *截面图中WD | |
上盖窗片观察 | 窗片范围φ45mm,最大视角±50° *截面图中θ1 | |
负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
结构参数
适用样品 | 26 mm直径 (标准) |
样品腔高 | 4/8 mm (可选) |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式,XY粗调20mm |
调节精度 | 10um |
气氛控制 | 真空腔,也可充入保护气体 |
外壳冷却 | 可通循环水,以维持外壳温度在常温附近 |
台体尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
配置列表
基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
其他可选型号
TP102V-MPS | 温度范围 -40℃ ~ 180℃,样品区,40mm*40mm |
HCP421V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区 Φ26mm |
HCP402V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区 50mm*50mm |
HP1000G-MPS | 温度范围 35℃ ~ 1000℃,样品区 25mm*25mm,气密腔室 |
定制型号 | 按客户需求定制,最大适用300mm晶圆样品 |
典型应用
表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的
需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的
需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的
晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试
测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率