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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>集成电路测试与分选设备>探针台>HTM-600H/800H/1200H 天恒科仪 高温探针台 半导体行业光学仪器

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HTM-600H/800H/1200H 天恒科仪 高温探针台 半导体行业光学仪器

具体成交价以合同协议为准

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


公司简介:

我公司已开发直流、光电、射频、微波、光波、特殊应用定制等全系列常温、高温、高低温、真空环境探针测试平台、半导体器件参数测试系统、光电藕合测试系统、射频、微波器件测试系统、功率器件高压、大电流测试系统等产品。

研发设计:

经过多年的发展,我公司在精密仪器检测行业具有较强的产品竞争力和研发能力。我们的愿景是成为专业的精密仪器检测产品和技术供应商,打造的高精尖精密仪器研发制造基地。

解决方案:

天恒科仪从公司成立之初始终把研发部做为公司核心的一个部门之一,引进专业的PDM管理系统进行研发部管理。研发团队定期参加行业举办的各项技术交流活动,以此推动研发部研发出创新技术和高品质的产品。


主营集成系统、探针台、示波器、逻辑分析仪、半导体/光电分析平台及定制测试方案供应商

尺寸 6英寸/8英寸/12英寸 温度范围 RT-800℃(可选)
温度分辨率 0.1℃ 控温方式 单通道/双通道PID
材质 合金/镀金 吸附方式 真空吸附
探针台型号HTM-600H
外形尺寸宽580mm
深520mm
高800mm
高温样品台整体重量约100Kg
尺寸中6英寸
温度范围RT~800℃(可选)
温度分辨率0.1℃
温度稳定性±0.5℃ @<100℃
±1℃ @<300℃
±2℃ @<500℃
±3℃ @<800℃
控 温方式单通道/双通道 PID
材质合金/镀金
平整度±5μm
吸附方式真空吸附
电学特性浮地悬空
背 电极信号加载&测量
X-Y 轴调节行程6英寸x6英寸
X-Y轴调节方式线性无回差1μm精调
气浮快速定位
Z轴升降调节行程0-10mm,精度1μm
θ 水平方向旋转角度粗调0-360°
θ 水平方向旋转角度微调±5°,精度0.1°
a垂直方向摆动角度微调±20°,精度0.1°
显微镜X-Y-Z轴调节行程50mmx50mmx50mm
精度1微米
Z轴气动升降行程50mm,升降速度可调
倾仰角度调节0-30°,自动锁止
光学倍率180X/500X/1000X
光学分辨率5μm/2μm/1μm
工业相机像素1920x1080P
针座
台面
外型U型
材质抛光不锈钢&防腐氧化
平整度±3μm
容积至多放置8个探针座
快速升降行程5mm
微调升降行程25mm,精度1μm
探针座点测定位精度1.4μm/0.7μm/0.35μm
探针座支持测量类型低频/高频/大功率/光波
测量
范围
探针卡安装尺寸4.5英寸
低 频 测量电流精度10pA
高 频测 量频率范围DC-1100GHz
大功率测量范围10KV/1500A
光波测量范围紫外/可见光/红外





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