尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 | 温度范围 | RT-800℃(可选) |
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温度分辨率 | 0.1℃ | 控温方式 | 单通道/双通道PID |
材质 | 合金/镀金 | 吸附方式 | 真空吸附 |
探针台型号 | HTM-600H | |
外形尺寸 | 宽580mm | |
深520mm | ||
高800mm | ||
高温样品台 | 整体重量 | 约100Kg |
尺寸 | 中6英寸 | |
温度范围 | RT~800℃(可选) | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温度稳定性 | ±0.5℃ @<100℃ | |
±1℃ @<300℃ | ||
±2℃ @<500℃ | ||
±3℃ @<800℃ | ||
控 温方式 | 单通道/双通道 PID | |
材质 | 合金/镀金 | |
平整度 | ±5μm | |
吸附方式 | 真空吸附 | |
电学特性 | 浮地悬空 背 电极信号加载&测量 | |
X-Y 轴调节行程 | 6英寸x6英寸 | |
X-Y轴调节方式 | 线性无回差1μm精调 气浮快速定位 | |
Z轴升降调节行程 | 0-10mm,精度1μm | |
θ 水平方向旋转角度粗调 | 0-360° | |
θ 水平方向旋转角度微调 | ±5°,精度0.1° | |
a垂直方向摆动角度微调 | ±20°,精度0.1° | |
显微镜 | X-Y-Z轴调节行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
Z轴气动升降行程 | 50mm,升降速度可调 | |
倾仰角度调节 | 0-30°,自动锁止 | |
光学倍率 | 180X/500X/1000X | |
光学分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
工业相机像素 | 1920x1080P | |
针座 台面 | 外型 | U型 |
材质 | 抛光不锈钢&防腐氧化 | |
平整度 | ±3μm | |
容积 | 至多放置8个探针座 | |
快速升降行程 | 5mm | |
微调升降行程 | 25mm,精度1μm | |
探针座点测定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
探针座支持测量类型 | 低频/高频/大功率/光波 | |
测量 范围 | 探针卡安装尺寸 | 4.5英寸 |
低 频 测量电流精度 | 10pA | |
高 频测 量频率范围 | DC-1100GHz | |
大功率测量范围 | 10KV/1500A | |
光波测量范围 | 紫外/可见光/红外 |