半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900

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公司名称 北京卓立汉光仪器有限公司
品牌ZOLIX/卓立汉光
型号
所在地北京市
厂商性质生产厂家
更新时间2025/4/2 11:07:37
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产品标签

晶圆缺陷测试晶圆少子寿命测试

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公司介绍 主营产品

北京卓立汉光仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高*技术企业。卓立汉光自1999年起，通过数年的不断努力，成长为光电仪器厂商之一。目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。2000年推出我司套量产型三光栅光谱仪后，不断推出了多套荧光、拉曼、光电探测器光谱响应、太阳能电池检测等光谱测量系统，广泛应用在众多高校和科研院所的研究与试验,为国家科技创新贡献了一份力量，产品凭借优良的品质远销欧美、东南亚等海外市场。 2005年10月在同行业中通过ISO9001质量管理体系SGS认证。2010年取得国家高*技术企业认定,2016年卓立汉光技术中心顺利通过市级技术中心评审。

卓立汉光主要生产经营：荧光/拉曼光谱系统、各类光谱测量系统、太阳能电池检测仪器、光栅光谱仪、各类型光源及探测器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。

我们诚心聆听用户的需要与批评，作为不断改进的动力，能让您满意卓立汉光的产品及服务，就是我们的成就。因此我们以卓立汉光的光机产品提供 “终身保固”的承诺,来表达我们对产品的信心。

我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好*质量保证，就是要让您 “付有所值”，以合理的价位得到优质的产品，这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。

卓立汉光始终以满足用户需求为宗旨，分别于上海、深圳、成都、西安设立分公司，为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、快速反应、优质服务” 是我们的经营理念，公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。卓立汉光真诚地希望与国内外同仁携手合作，为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。

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光谱仪，拉曼光谱，荧光光谱，太阳能电池检测，位移台，滑台，光学调整架，电动滑台，光学平台，光学元件

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半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900

产品概述

PL测试是一种无损的测试方法，可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能。其主要功能包括：1）组分测定；对三元或四元系合金，如InGaN等，通过PL 峰位确定半导体材料的禁带宽度，进而确定材料组分X；2）杂质识别；通过光谱中的特征谱线位置，可以识别材料中的杂质元素；3）杂质浓度测定；4）半导体材料的少数载流子寿命测量；5）位错等缺陷的相关作用研究。

基本原理：

光致发光大致经过光吸收、能量传递及光发射三个主要阶段，光的吸收及发射都发生于能级之间的跃迁，都经过激发态。而能量传递则是由于激发态的运动。光吸收：样品受到紫外或可见光的照射，导致材料中的电子跃迁到高能态，在价带留下空穴，电子和空穴各自在导带和价带中占据*低激发态，即导带底和价带顶，成为准平衡态，也是一种暂态，不稳定状态，能量传递：准平衡态下的电子和空穴复合发光，产生特定波长的光子，激发的电子在一段时间后返回到低能态。光发射：在电子返回低能态的过程中，释放出能量，以光子的形式发射出来。电子跃迁到不同的低能级，就会发出不同的光子，但是发出的光子能量肯定不会比吸收的能量大。这发射的光子具有不同的波长，可用于研究材料的性质。通过探测光的强度或能量分布得到曲线，形成光致发光谱(PHOTOLU-MINESCENCE SPECTROSCOPY，简称PL谱)。

半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900

半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900主要应用与功能
组分测定

通过测量光致发光峰位来确定半导体材料的禁带宽度，从而推断材料的组成。例如，MAPBIBR:-X 的带隙随X值而变化，因为发光的峰值波长取决于禁带宽度且禁带宽度和X值有关，因此通过发光峰峰值波长可以测定组分百分比X值。

杂质识别

通过测量材料的光致发光光谱，标定特征谱线的位置，可以识别材料中的杂质元素，以及对杂质浓度进行测定。

位错缺陷研究

光致发光可以提供有关材料的结构、成分及环境原子排列的信息，是一种非破坏性的、灵敏度高的分析方法。光致发光光谱可以用来研究晶体缺陷，例如离子空位和取代，这对于钙钛矿这样的材料尤其重要。过多的缺陷会导致电子与空穴进行非辐射复合并以热能的形式耗散，降低材料的光致发光性能以及光伏性能。

载流子寿命研究

可以通过强度相关的光致发光寿命测量,确定载流子扩散的影响以及其对总体寿命的影响。

实测数据
晶圆级半导体光致发光谱测试系统（稳态 / 时间分辨）

Wafer-scale Semiconductor Photoluminescence (PL)

Mapping System (Steady-state / Time-resolved)

针对光电半导体晶圆的发光特性检测需求，以共聚焦方式在晶圆表面逐点采集光致发光光谱并成像。

· 整晶圆上的荧光强度、波长、寿命等发光参数的一致性评估

· 杂质、缺陷、组分等对复合机制的影响

半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900

产品特性和核心技术:

· 激光自动聚焦

· 自主研制的激光辅助离焦量传感器:

可在光致发光谱测量的同时工作，能够在全晶圆的范围内扫描时实现实时地自动聚焦和表面跟踪。

· 提供紫外到可见多个不同波长的激光激发，可按用户需求选配。

· 可选配正方向和侧方向双路荧光接收光路。

· 应对AlGaN等深紫外半导体选择定则造成的侧面出光情形。

· 全自动操作。

· 提自动化的控制软件和数据处理软件，全软件操作。

性能参数：

荧光激发和收集模块	激发波长	213/266/375/405 nm
	自动对焦	在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪。对焦精度<0.2 um。
	显微镜	可见光物镜，100 × / 50 × / 20 ×，用于405 nm激发光。近紫外物镜，100 × / 20 ×，用于375 nm激发光。紫外物镜，5 ×，用于213 nm / 266 nm的紫外激发光。
样品移动和扫描平台	平移台	扫描范围大于300 × 300 mm²。 *小分辨率1 m。
样品移动和扫描平台	样品台	8吋吸气台（12吋可定制）可兼容2、4、6、8吋晶圆片
光谱仪和探测器	光谱仪	焦长320 mm单色仪，可接面阵探测器。光谱分辨率：优于0.2 nm @ 1200 g/mm
	荧光寿命测试模块	荧光寿命测试精度 8 ps，测试范围50 ps ~ 1 ms
软件	控制软件	可选择区域或指*点位自动进行逐点光谱采集
软件	Mapping数据分析软件	可对光谱峰位、峰高、半高宽等进行拟合。可计算荧光寿命、薄膜厚度、翘曲度等。将拟合结果以二维图像方式显示。