日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000II
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- 公司名称 日立科学仪器有限公司
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/2/25 21:40:36
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简介
日立高新推出的超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000专为电子束敏感样品和需要300万倍稳定观察的半导体器件设计。通过改进的电子枪、电子光学设计以及增强的真空性能,该设备实现了的低加速电压成像效果,并配备了Super E x B能量过滤技术,以更高效、灵活地收集多种信号,从而提供的电子束稳定性和高效率的截面观察能力。
日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是专门为电子束敏感样品和需300万倍稳定观察的半导体器件,高分辨成像所设计。
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4nm / 30kV(SE)
0.7nm / 1kV(SE)
0.34nm / 30kV(STEM)
用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。