高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series

SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制，通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。

此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。

产品特点：

热场SEM支持低真空，搭载超大样品仓，可扩展实现更多功能

电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。

【SU3900SE/SE Plus】  

     ф300mm晶圆安装示例                                        在使用样品交换仓时

                                                                                                   也可以安装高度45mm的样品。

         130mm 高金属配件安装示例

具有更高的分辨率和样品极表面信息观察的能力

此系列搭载新开发的热场电子枪，在高、低加速电压条件下，均可获得超高分辨率图像。

型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。

并且，标配的低电压高灵敏度背散射电子探测器，可以获取高质量的样品成分和凹凸信息。

SE系列的探测系统，通过选配的UVD探测器，还可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。

自动化、辅助功能让操作更便捷

SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能，可大量简化操作流程。

此外，使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。

将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。

通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。

①确定区域，以×300倍率拍摄低倍图像

②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像

③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像

应用案例

金属

铁丝断面                                                  

可以确认韧性断裂引起的微小孔洞

电子元件

电路板                                                                                                多层陶瓷电容器横截面

通过低倍率、高倾斜观察，可以确认贴装元件的立体形状及位置            可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度

无机材料

氧化锌颗粒                                                                                     高熵硬质合金薄膜

可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状                                 可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布

电池材料

锂离子电池正极材料                                                                           锂离子电池负极材料

可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布                                      可以观察到负极材料最表面的粘合剂