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日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 成都藤田科技有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型号
  • 产地
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2025/2/22 10:11:01
  • 访问次数 108

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


公司简介

COMPANY INTRODUCTION

成都藤田科技有限公司经营进出口业务7年有余,位于西南地区四川成都;通过不断努力、进步与各类日本、部分欧美品牌建立长期稳定的合作关系,覆盖电子产品、工具、电子元器件、仪器仪表、防静电设备、辅料、自动化设备、非危险性化工产品、机械设备及配件、通信设备。

成都藤田科技供货渠道

因为长期良好的经营环境,获得国内外客户与商社的喜爱,随着互联网的发展建立了专有的网络模式MRO;

坚持以服务客户为主的经营理念、追求客户满意服务为宗旨、礼貌诚信为原则提供客户服务,并以成为客户值得信赖的工业品综合服务商为目标。

MRO两种形式

  1. 超市建立工业品专柜,大型超市也会经营部分工业品,但种类和数量有限。

  2. 网上工业品超市,这种形式配送可为客户大规模找寻产品,使供应商和采购商都实现“进入一个点,得到一大片”连锁效应,有效降低采购商采购成本。

代理品牌:

  1. 日本MUSASHI武藏(点胶机

  2. 日本HOYA豪雅 (UV固化灯,玻璃镜片)

  3. 日本SIGMAKOKI西格玛 (光学元件、物镜等)

  4. 日本YUMEX优美科思(各种疝气灯)

  5. 日本TOKISANGYO东机产业(粘度计

  6. 日本KANOMAX加野(风速仪)

  7. 日本YAMADA雅玛达(隔膜泵)

  8. 日本EPSON爱普生 (机械臂)

  9. ATTEN安泰信 (焊接产品)

  10. 日本TSUBOSAN壶三(锉刀工具)

  11. 日本sakurai樱井(无尘纸

  12. 韩国DIT东日技研(除静电产品)

  13. 韩国HANIL韩一(搅拌机)

优势品牌:

  1. 日本Otsuka大塚电子(晶圆、覆膜测厚仪)

  2. 日本FLUORO福乐(用于晶圆的搬运)

  3. 日本AND艾安得(微量电子 分析天平)

  4. 英国Meech密其(非接触式除尘系统)

  5. 日本SSD西西蒂(防静电设备)

  6. 日本NEW-COSMOS 新宇宙(气体检测仪

  7. YIZOMO一子沫(拉拔机)

  8. 日本FURUPLA富如拉(喷壶)

  9. 日本PISCO匹士克(气动元件

  10. 日本TECHNO特古罗(锡炉)

  11. 日本AMANO安满能(除尘设备)

  12. 日本MALCOM马康(粘度计)

  13. 日本HOZAN宝山(镊子、钳子等工具)

  14. 日本MITUTOYO三丰 (测量器具)

  15. 美国SIMCO思美高(防静电、除尘产品);

成都藤田科技为广大客户提供一体化、全面、优质高效服务。

 

 

 

进出口业务,日本武藏点胶机,日本豪雅检测光源,海康视觉成像,安泰信焊锡设备

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 综合

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长

产品信息

特点

● 可在紫外和可见(250至800nm)波长区域中测量椭圆参数

● 可分析纳米级多层薄膜的厚度

● 可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱

● 通过可变反射角测量,可详细分析薄膜

● 通过创建光学常数数据库和追加菜单注册功能,增强操作便利性

● 通过层膜贴合分析的光学常数测量可控制膜厚度/膜质量


测量项目

测量椭圆参数(TANψ,COSΔ)

光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析

薄膜厚度分析


用途

半导体晶圆
栅氧化膜,氮化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe,BPSG,TiN
光学常数(波长色散)

复合半导体
AlxGa(1-x)多层膜、非晶硅

FPD
取向膜
等离子显示器用ITO、MgO等

各种新材料
DLC(类金刚石碳)、超导薄膜、磁头薄膜

光学薄膜
TiO2,SiO2多层膜、防反射膜、反射膜

光刻领域
g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)和KrF(248nm)等波长的n、k评估


原理

包括s波和p波的线性偏振光入射到样品上,对于反射光的椭圆偏振光进行测量。s波和p波的位相和振幅独立变化,可以得出比线性偏振光中两种偏光的变换参数,即p波和S波的反射率的比tanψ相位差Δ。
日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    


产品规格

型号

FE-5000

样品尺寸

200x200毫米

入射(反射)的角度范围

45至90°

入射点直径*2

关于φ1.2sup*3

测定波长范围*5

250至800纳米

平台驱动方式

手动/自动

装载机兼容

尺寸,重量

1300(W)×900(D)×1750(H)mm
    约350公斤*7

*1可以驱动偏振器,可以分离不感带有效的位相板。
*2取决于短轴角度。
*3对应微小点(可选)
*4它是使用VLSI标准SiO2膜(100nm)时的值。
*5可以在此波长范围内进行选择。
*6光源因测量波长而异。
*7选择自动平台时的值。


测量示例

以梯度模型分析ITO结构[FE-0006]

作为用于液晶显示器等的透明电极材料ITO(氧化铟锡),在成膜后的退火处理(热处理)可改善其导电性和色调。此时,氧气状态和结晶度也发生变化,但是这种变化相对于膜的厚度是逐渐变化的,不能将其视为具有光学均匀组成的单层膜。
以下介绍对于这种类型的ITO,通过使用梯度模型,从上界面和下界面的nk测量斜率。

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    

考虑到表面粗糙度测量膜厚度值[FE-0008]

当样品表面存在粗糙度(Roughness)时,将表面粗糙度和空气(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模拟为“粗糙层”,可以分析粗糙度和膜厚度。以下介绍了测量表面粗糙度为几nm的SiN(氮化硅)的情况。

   

  

使用非干涉层模型测量封装的有机EL材料[FE-0011]

有机EL材料易受氧气和水分的影响,并且在正常大气条件下它们可能会发生变质和损坏。因此,在成膜后立即用玻璃密封。以下介绍在密封状态下通过玻璃测量膜厚度的情况。玻璃和中间空气层使用非干涉层模型。

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    

使用多点相同分析测量未知的超薄nk[FE-0014]

为了通过拟合最小二乘法来分析膜厚度值(d)需要材料nk。如果nk未知,则d和nk都被分析为可变参数。然而,在d为100nm或更小的超薄膜的情况下,d和nk是无法分离的,因此精度将降低并且将无法求出精确的d。在这种情况下,测量不同d的多个样本,假设nk是相同的,并进行同时分析(多点相同分析),则可以高精度、精确地求出nk和d。

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    

日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长    日本Otsuka大塚FE-5000椭偏仪可在紫外波长-成都藤田科技提供





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