适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计AFW-100W原理分析

来源：秋山科技（东莞）有限公司 2024年11月25日 10:47

适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计AFW-100W原理分析

这是配备光谱仪的标准型号，非常适合采用集成光源的紧凑外壳的薄膜厚度计。可以进行非接触式测量，因此您不必注意涂层工作表面。

它涵盖了广泛的测量波长和可测量的薄膜厚度。

可测量波长：380nm～1050nm
可测量膜厚：100nm～60μm

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反射分光膜厚计AFW-100W

反射分光式膜厚计测量原理

当光线照射在透明薄膜上时，在薄膜表面反射的光（R1）与在薄膜内部折射并在基材表面反射的光（R2）重叠，导致光线增强或减弱。

这种现象称为“光干涉” 。当光的相位匹配时，强度增加，而当相位偏移时，强度减小。

右图是“光干涉”的图像。 “反射分光膜厚计”是通过分析该光的干涉（波长）来测量膜厚的方法。

反射光谱膜厚测量原理

求使测量反射率与理论反射率之差的平方最小的膜厚值。

推荐在波纹数为3个以下时使用（膜厚约1μm）。

通过FFT计算确定某一波长宽度内表示膜厚的干涉波形的数量，并由此导出一个周期的波长宽度。

建议在有3个或更多波纹时使用（膜厚约1μm）。

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