日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪
- 公司名称 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/2/21 15:03:03
- 访问次数 82
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 综合 |
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供
产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统(第4834847号)
● 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用 途
光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)
FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
核心特点:
微区测量能力:最小光斑直径3μm,搭配自动XY平台(200×200mm),实现晶圆、FPD(如OLED、ITO膜)等微小区域的精准厚度分布映射。
跨行业适用性:专为半导体(SiO₂/SiN膜)、显示面板(彩色光阻)、DLC涂层等行业设计,支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
安全与扩展性:区域传感器触发防误触机制,独立测量头支持定制化嵌入,满足在线检测(inline)与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供