ITR90 Leybold莱宝热阴极真空计

Leybold莱宝热阴极真空计（ITR90）

有两种主要型号可供选择：

l带单个热阴极灯丝的 ITR 90

l带双灯丝的 ITR 200，通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障，它将自动切换灯丝，并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命，可以运行脱气程序，从而重新增强灯丝的性能。

l从 1 × 10^-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量  

l紧凑型设计，带有可更换的阴极和脱气模式

l可烘烤的传感器，用于 UHV 测量

l提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口，便于安装

l在 10^-2 至 10^-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性  

l通过无源测量进行的 UHV 压力测量，可实现低至 10^-12 mbar/torr 的测量

l测量范围：通常可测量的压力范围为 1.3×10⁻⁸ Pa 到 3×10⁵ Pa，可满足从高真空到超高真空范围的测量需求。

l输出特性：可以与 Duniway Terranova 990 真空计控制器等配合，具有 RS232 串行、I/O 数据输出接口，可进行压力读数的模拟对数输出等。

工作原理

基于热阴极电离规的原理工作。通过高温灯丝发射电子，这些高能量电子在电场作用下加速运动，与真空计测量空间内的气体分子发生碰撞。在碰撞过程中，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，使气体分子电离形成带正电的离子。这些带电离子在电场作用下被离子收集极捕捉收集，形成离子流。离子流的大小与气体压力成比例关系，通过测量离子流的大小就可以测算出气体的压力，从而得出真空度。

结构特点

l电极结构：一般由阴极（灯丝）、栅极和收集极组成。阴极通常采用耐高温、发射电子性能良好的材料制成，通电加热后发射电子。栅极处于正电位，用于加速从阴极发射出来的电子，使电子获得足够的能量去撞击气体分子。收集极处于负电位，用于收集被电离的气体离子。

l规管设计：整体规管的设计能够保证在高真空环境下，电子、离子的运动和相互作用不受外界干扰，确保测量的准确性和稳定性。

Leybold莱宝热阴极真空计（ITR90）

技术参数

产品优势

l量程宽：能够覆盖较广的真空度测量范围，从高真空到超高真空都能进行有效的测量，适用于多种不同的真空应用场景，如半导体制造、真空镀膜、科研实验等。

l精度较高：在其测量范围内，能够提供相对准确的真空度测量结果，为工艺控制和实验研究提供可靠的数据支持。

l响应速度快：可以快速地对真空度的变化做出响应，及时反映系统内真空状态的改变，有助于实时监控和调整真空系统。

l稳定性好：莱宝作为有名的真空技术品牌，ITR90 热阴极真空计在设计和制造上遵循严格的标准，具有良好的稳定性和可靠性，能够长时间稳定工作。

应用领域

l半导体行业：在半导体芯片制造过程中的光刻、蚀刻、镀膜等工艺环节，需要精确控制真空度，ITR90 热阴极真空计可用于监测和控制真空系统，确保工艺的一致性和产品质量。

l真空镀膜：如光学镀膜、金属镀膜等，精确的真空度对于镀膜的质量和性能至关重要，ITR90 可帮助操作人员准确掌握真空状态，实现理想的镀膜效果。

l科研领域：在物理、化学、材料科学等科研实验中，许多实验需要在高真空或超高真空环境下进行，ITR90 热阴极真空计可为实验提供准确的真空度测量，保障实验的顺利进行和数据的准确性。