【高斯摩分享】什么是真空计？

OKANO（冈野）真空计

OKANO（日本冈野株式会社）是专业真空测量设备制造商，其真空计以高精度、宽量程、强抗污染能力著称，广泛应用于半导体、真空镀膜、科研实验等领域。

1. 核心技术优势

• 抗污染设计：

• 电离规采用抗氧化阴极（IG-500A），寿命延长3倍。

• 电容规（CG系列）全金属密封，耐酸碱腐蚀。

• 智能校准：

• 自动零点校正（GP系列），减少温度漂移影响。

• 数字补偿算法（复合真空计），提升交叉量程精度。

• 快速响应：

• 热规（GP系列）响应时间＜0.5秒，适用于动态真空控制。

2. 行业解决方案

• 半导体制造：

• 刻蚀设备真空度实时监测（IG-300A，防等离子干扰）。

• 光学镀膜：

• 电子枪蒸发源压力控制（复合真空计，量程无缝切换）。

• 科研实验：

• 同步辐射装置超高真空（10⁻⁸ Pa ，配分子泵组）。

3. 使用与维护要点

• 安装位置：

• 避免直接对准泵口或气流冲击位置（防止颗粒污染传感器）。

• 校准周期：

• 皮拉尼规每12个月校准，电离规每6个月（高精度应用需更频）。

• 故障排查：

• 读数异常时先检查电缆连接（电离规需预热10分钟）。