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臭氧发生器

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臭氧

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南京博创半导体设备有限公司成立于2019年主体经营:1.半导体制造相关设备:键合/解键合设备/晶圆清洗设备/涂胶设备/剥离设备2.半导体用高清洁传送设备:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.纳米印压设备:8寸/12寸全自动量产设备和R&D研发设备4.FDP/PLP设备:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解键合设备5.UV系列产品:UV Laser/Excimer UV灯/UVLED灯/牛尾-滨松-ORC照度计 所在地 :江苏省南京市栖霞区(新港开发区)恒泰路6号



172nm准分子,臭氧发生器,照度计,Robot,EB照射器

产地类别 进口 应用领域 化工,能源,电子/电池,电气,综合

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 ■采用循环方式: 极少有积水、废弃水, 浓度产生速度快(1分钟内生成臭氧水)), 稳定的臭氧水浓度和流量供应到洗净工艺

 ■不会有金属产生的臭氧水:适用于精密清洗的臭 氧水生成

1 独自的臭氧发生技术:石英三重管式放电管的优点

石英玻璃内放电⇒洁净臭氧生成.长寿命

           ⇒半导体洗净适合医疗用臭氧也可安全使用

放电电极两面水冷⇒臭氧发生效率大

            ⇒紧凑型臭氧气发生,紧凑型臭氧水生成

 臭氧发生器型式LOG-LC40G :40g/hr臭氧产生此装置可以作为单体使用,也可以嵌入现有设备中使用13

2 独自的臭氧溶解技术:

・接液部全部为氟素树脂⇒洁净的臭氧水生成 耐臭氧性

               ⇒适用于半导体制造

・高效的臭氧气体溶解⇒省空间、大容量


3 臭氧浓度测定技术:使用UV-LED替代以往的水银灯・不含水银 ・不需要暖气 ・不受外部气温的影响測定精度高、紧凑化15






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