官方微信|手机版

产品展厅

产品求购企业资讯会展

发布询价单

化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>物理气相沉积设备>FPSEM-STE-MS900 磁控溅射物理气相沉积PVD系统

分享
举报 评价

FPSEM-STE-MS900 磁控溅射物理气相沉积PVD系统

参考价800000-1800000/件
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 孚光精仪(中国)有限公司
  • 品牌孚光精仪
  • 型号FPSEM-STE-MS900
  • 所在地上海市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2024/12/16 11:47:37
  • 访问次数 235

联系方式:华小姐查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。

21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。


孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。

公司品牌释意


孚:信服/conviction

光:光学/optics

精:精密/

precision
仪:仪器/Instruments

我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。


公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学

经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密

光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器

荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)

分子生物学

光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)

医用

光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)

光谱分析

测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)

激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度

测试仪器

光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)

光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)

燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)

无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)

AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜

通用

实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)

服务和应用领域

生物光子学

生命科学

医学成像

制药

食品工程

化学和化工

 

实验室仪器实验室建设

流体力学

工程热物理

燃烧诊断分析

发动机研发

航空航天

地球物理科学

地质和石油勘探


半导体和微电子

 

 

 

 

 

先进制造

新能源

材料科学

仪器科学与技术

-------


客户群体
     
高等院校

*系统研究院所

中国国有企业及其研究院所

外资企业


高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。

 

外方经理定期来华办公指导                                             工作园区一角\

公司电子*门办公一角                                                   员工文化墙一角


用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所

*西安光机所

*安徽光机所

*长春光机所

*合肥物质研究院


*物理研究所

*光电研究院


*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53

清华大学

北京大学

中国科技大学


哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学

天津大学


**********

 

 

 

 

飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜

磁控溅射物理气相沉积是多功能高压PVD系统,用于磁控溅射和多组分薄膜的热蒸发,用于批量晶圆物理气相沉积加工.
磁控溅射物理气相沉积可在加热至700℃的晶圆上溅射多组分层(金属、电阻层、ITO层等),设计用于主动研发和小规模生产。*化后的高真空不锈钢反应器由固定源单元和升降顶盖组成。反应器的***新人体工程学设计配有提升机构,便于蒸发器单元和内部筛网的日常维护。
磁控溅射物理气相沉积PVD系统
磁控溅射物理气相沉积特点
•可用于研发和小型生产的多功能真空沉积系统
•*化的系统人机工程学,操作和维护方便
•溅射几何(自下而上)允许***小化样品表面上的颗粒密度
•通过QCM、现场电阻测量等实现过程自动控制。
•高压不锈钢圆柱电抗器,顶部法兰提升,集成水冷
•∅200mm靶材或∅150mm靶材具有6个磁控管源的5个端口,任何系统配置中,一个端口可用于离子束源
•旋转木马式基板支架,可改变样品尺寸
•同一工艺的溅射晶圆大数量为5×∅200 mm、6∅150 mm和30片60×48 mm
•双面沉积时基板支架可能翻转180°的可能性(可选)
•2个靶材直径达∅200 mm的磁控管源和百叶窗,2个电源(DC和RF),基本配置中磁控管之间自动重新连接
•沉积前基底清洁用离子束源(能量20÷300 eV)
•3条带有自动气体流量控制器的燃气管线,包括防腐性能旁通管线
•工艺气体:Ar、H2、O2、N2
•能够安装现场电阻测量见证样品
•在特定溅射源下旋转木马定位的自动基板
磁控溅射物理气相沉积规格参数
工艺过程反应器中的极限压力:   不小于<5×10-7
达到预处理真空的时间(<5×10^-6Torr):   不超过25min
磁控管源的***大数量:5×∅200mm 或 6×∅150mm
离子束粒(离子能20~300eV): 可选配
衬底支架倾斜180度:  可选配
一次性处理晶圆数量::5×∅200mm 或 6×∅150mm 或30x (60x48)mm
溅射薄膜的非均匀性: +/-2.5%  @200mm
沉积过程中晶圆旋转的速度范围:    0~20rpm
晶圆加热温度: ***高700°С
泵送系统性能:–涡轮分子泵,不小于1300l/s
                       –干式涡旋泵,不小于35m3/h
过程:自动化控制




化工仪器网

采购商登录
记住账号    找回密码
没有账号?免费注册

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息:

温馨提示

该企业已关闭在线交流功能