FPSEM-STE3526 混合异质结构分子束外延系统MBE
参考价 | ¥1200000-¥1550000/件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 孚光精仪(中国)有限公司
- 品牌孚光精仪
- 型号FPSEM-STE3526
- 所在地上海市
- 厂商性质经销商
- 更新时间2024/12/16 9:22:45
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生长室温度 | 1200 |
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这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,非常适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。
混合异质结构分子束外延系统是提供从А3В5-反应器到А2В6-反应器的超纯超高压基板传输,避免生长界面的不受控制的污染。
还可以配备V族和VI族元素的阀裂解单元以及所有必要的原位分析工具。
混合异质结构分子束外延系统优势:
•“实验室到工厂”的概念,允许开展从基础研究到异质结构试生产的活动
•铝(冷唇)专用渗出细胞,操作稳定,镓(热唇)提供低椭圆形缺陷密度
•在系统基本配置中对生长过程进行现场监测的所有必要工具
•特别设计的生长操纵器,提供高温均匀性和加热/冷却速率动态
•安装期间的有效技术支持,包括基本工艺转移
•简单的系统操作和定期的技术维护
混合异质结构分子束外延系统参数:
烘烤后生长室的最终真空度,Torr | <5×10-11 |
最大基板直径,mm | 100或3×2″block |
100mm晶圆的厚度和复合不均匀度,% | ±1 |
“源到基片”距离,mm | 135÷210 |
渗出细胞百叶窗设计 | 基于磁耦合旋转运动的无冲击驱动旋转机构 |
百叶窗叶片材料 | 钽、钼或PBN(可选) |
生长机械手加热元件的设计 | PBN/PG/PBN |
生长操纵器的最高工艺温度,不低于,℃ | 900 (NH3-MBE为1200) |
准备室中基板脱气温度,不低于,℃ | 650 (III氮化物为1100) |
生长室烘烤温度,不低于,℃ | 200 |
离子泵容量,不小于,l/s: –生长室(III-N的TMP) –准备室 –负载锁定 | 800 (2000) 500 300 |